Ovivo Imec Leuven
01:08
09-02-2016

Nieuwe UPW-installatie voor Imec in Leuven

Het Leuvense Imec behoort tot de wereldwijde top op vlak van nano-elektronica. Om aan die top te blijven, investeerde het bedrijf in nieuwe cleanroom-faciliteiten met 450 mm-siliciumschijven. Daarvoor was ook een nieuwe en performantere ultrapuur water (UPW)-installatie nodig. 

De siliciumschijven waarmee bedrijven zoals Imec microchips produceren, werden de afgelopen decennia steeds groter, tot de huidige diameter van 300 mm. De volgende stap voor de industrie: schijven van 450 mm. Ook al is die stap nog niet voor meteen, Imec wachtte niet en bereidt zijn cleanroom al voor op de omschakeling. Dat deed het bedrijf onder andere door de UPW-installatie te vervangen. Een grotere schijf betekent immers extra waterconsumptie, lagere tolerantie voor verontreinigingen en een noodzaak om het afvalwater te hergebruiken.

Waterbehandelingsspecialist Ovivo kwam als beste kandidaat uit het strenge selectieproces van Imec uit de bus en mocht de nieuwe UPW-installatie leveren. Jorg Korver, projectleider bij Ovivo: “In 2003 hebben we al een UPW-installatie geleverd bij Imec, we zijn er min of meer kind aan huis. Wereldwijd zijn we ook toonaangevend op vlak van UPW.”

Ovivo richt zich bij de nieuwe installatie in de eerste plaats op het hergebruik van afvalwater. Als dat terug mee in de waterkringloop kan, bespaart Imec immers enorm op waterkosten. Imec koos ook voor een besparing op zout. Korver: “We hebben daarnaast een aantal processtappen verbeterd, nieuwe ontwikkelingen die we hebben toegepast sinds de vorige installatie uit 2003. Bij oudere systemen werkten we met zuur en lood voor het ontzouten van het voedingswater, maar momenteel gebruiken we een nieuw proces met ontzoutingsmembranen, ion-selectieve membranen en elektriciteit dat al tien, vijftien jaar op de markt is. Het is een goedkoper systeem en verbetert de outputkwaliteit.”

Er zijn ook andere nieuwigheden ten opzichte van de vorige installatie: nieuwe membraantechnieken om verder te kunnen ontzouten met minder elektrisch vermogen, nog lagere ion-contaminaties in de aanmaaksectie door serieschakeling van ionenwisselaars, het gebruik van PVDF-pompen voor de laatste processtap om contaminatie met metalen verder te minimaliseren en het hergebruik van enkele reststromen optimaliseren binnen het proces voor laagwaardigere toepassingen.

Tekst: Jeroen Schreurs Beeld: Ovivo, Besix-Vanhout

Abonneer u op onze nieuwsbrief

Lees ons « Privacy statement » voor nadere informatie.

Installatie en Bouw België partners

Delta Filter Fernox